工業等離子光催化廢氣處理采用高壓發生器產生并形成低溫等離子體，在平均能量大約在5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的廢氣成分苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室內每根管子的中間有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通道管子里的冠狀電線上，由電線至管壁產生放電現象。

工業等離子光催化廢氣處理優點：

①能耗低，可在室溫下與催化劑反應，無需加熱，極大地節約了能源；

②使用便利，設計時可以根據風量變化以及現場條件進行調節；

③不產生副產物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應中所產生的副產物；

④不產生放射物；

⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風量的氣體。

當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。